1、獲取三組以上，且不同線的X方向和Y方向的預(yù)設(shè)平移量后，根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系和 所述預(yù)設(shè)平移量，確定所述uvw對位平臺校準方法中各個工作軸的第一移動量，并控制所述各個工作軸 根據(jù)所述第一移動量進行移動，實現(xiàn)平移；

2、根據(jù)中標記點在平移前后的平臺坐標變化量和圖像坐標變化量，計算第 一類型參數(shù)，其中，所述第一類型參數(shù)包括：圖像坐標系在X方向的分辨率Rx、圖像坐標系 在Y方向的分辨率R Y，以及圖像坐標系和平臺坐標系之間的夾角ω ;  

3、獲取預(yù)設(shè)的旋轉(zhuǎn)角度α后，根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系和所述旋轉(zhuǎn)角度α，確定所述UVW 平臺中各個工作軸的第二移動量，并控制所述各個工作軸根據(jù)所述第二移動量進行移動， 實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)；

4、根據(jù)所述第一類型參數(shù)、第二類型參數(shù)和uvw對位平臺在旋轉(zhuǎn)前，所述標記點的圖像坐標 (X。，y〇)，獲取所述在移動過程中，所述標記點的圖像坐標系和平臺坐標系之間的 映射關(guān)系，所述映射關(guān)系為：其中，（x，Y)為所述標記點在移動過程中的平臺坐標，（x，y)為所述標記點在移動過程 中的圖像坐標。

5、旋轉(zhuǎn)平移單元，用于根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)角度β，以及與所述旋轉(zhuǎn)角度β相對應(yīng)的平移量， 控制進行相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)和平移； 第二計算單元，用于設(shè)定所述標記點在旋轉(zhuǎn)和平移前的第二平臺坐標為（xK，Yk)，根據(jù) 所述標記點的第一平臺坐標（X1,Y1)、標記點在旋轉(zhuǎn)和平移前的圖像坐標（XK,yK)、標記點 在旋轉(zhuǎn)和平移后的圖像坐標以及所述第一類型參數(shù)，計算所述第二平臺坐標 (Xe,Yr)；

6、判斷單元，用于判斷所述第二平臺坐標（XK，Yk)和第一平臺坐標（XpY1)之間的差值是 否在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，若是，確定所述第二平臺坐標（XK，Yk)為uvw對位平臺在旋轉(zhuǎn)前，所述標記點的 平臺坐標（Xtl,Ytl),若否。

7、設(shè)定所述第二平臺坐標（XK，Yk)作為第一平臺坐標（X1,Y1),并重新 獲取其他預(yù)設(shè)的旋轉(zhuǎn)角度，并設(shè)定所述其他預(yù)設(shè)的旋轉(zhuǎn)角度為旋轉(zhuǎn)角度β，返回由所述平 移量獲取單元執(zhí)行操作。