當前最新型提供了一種曝光機自動對位平臺系統(tǒng)XYY機構，包括了對位模組固定板、運動板、X方向移動裝置、第一Y方向移動裝置和第二Y方向移動裝置，X方向移動裝置、第一Y左右方向移動裝置和第二左右Y方向移動裝置分別與對應對位模組固定板、對該運動板活動連接，

       還包括設置在該對位模組固定板上的X方向動力裝置、第一Y方向動力裝置和第二Y方向動力裝置，X方向動力裝置帶動X方向移動裝置沿X方向往復運動，X方向移動裝置帶動該運動板沿X方向往復移位，第一Y方向動力裝置帶動第一Y方向移動裝置沿Y方向往復運動，第一Y方向移動裝置帶動該運動板沿Y方向往復移位，第二Y方向動力裝置帶動第二Y方向移動裝置沿Y方向往復運動，第二Y方向移動裝置帶動該運動板沿Y方向往復移位。

        X方向移動裝置包括X方向移動板，X方向移動板與該運動板通過軸承活動連接，X方向移動板的下端面上設置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第一固定板滑槽往復移動，該軸承的上方設置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復移動。

        第一Y方向移動裝置包括第一Y方向移動板，第一Y方向移動板與該運動板通過軸承活動連接，第一Y方向移動板的下端面上設置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第二固定板滑槽往復移動，該軸承的上方設置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復移動。

  

        第二Y方向移動裝置包括第二Y方向移動板， 第二Y方向移動板與該運動板通過軸承活動連接，第二Y方向移動板的下端面上設置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該自動對位平臺模組固定板上的第三固定板滑槽往復移動，該軸承的上方設置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復移動

        X方向動力裝置包括電機和與該電機固定連接的偏心輪，該偏心輪與X方向移動板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與X方向移動板之間的間隙。

         第一Y方向動力裝置包括電機和與該電機固定連接的偏心輪，該偏心輪與第一Y方向移動板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與第一Y方向移動板之間的間隙。

        第二Y方向動力裝置包括電機和與該電機固定連接的偏心輪，該偏心輪與第二Y方向移動板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與第二Y方向移動板之間的間隙。

       新型有益效果：新型曝光機的對位系統(tǒng)XYY機構由一個X方向的軸向運動裝置，搭配兩個Y方向軸向運動裝置，使自動對位平臺系統(tǒng)的運動更為流暢，機構更為穩(wěn)定個壽命的使用期，新型推進了曝光機對位系統(tǒng)的一大步技術進步。