任何位移臺都有 6 個自由度：3 個分別沿著 x、y、z 軸方向的平移自由度，另外 3 個則是圍繞 x、y、z 軸的旋轉(zhuǎn)自由度。

此處描述的所有運動都是關(guān)于右手坐標(biāo)系的，所有的運動都可以看成是由沿坐標(biāo)軸方向的平動和繞坐標(biāo)軸方向的轉(zhuǎn)動的復(fù)合運動。 

當(dāng)選擇一款專業(yè)的位移臺時，需要考慮很多不同評定位移臺性能的指標(biāo)。了解各種各樣參數(shù)的定義以及他們?nèi)绾斡绊戇\行結(jié)果將簡化產(chǎn)品的選擇過程。

1. 分辨率 Resolution

分辨率是指移動系統(tǒng)可以分辨的最小位置增量，它不同于系統(tǒng)的最小控制增量。同樣涉及到顯示器和數(shù)據(jù)采集器的分辨率，通常取決于編碼器的輸出，但由于滯后、背隙等導(dǎo)致傳動系統(tǒng)的降低，因而大多系統(tǒng)的最小移動增量都不等于分辨率，除非編碼器直接測量傳動。

（1）對于電動平移臺而言，分辨率為步進電機每轉(zhuǎn)動最小的一步，位移臺的運動輸出量。

電動平移臺的分辨率可以用以下公式計算： 

例如：螺桿導(dǎo)程是 4mm，電機的步距角是 1.8o，驅(qū)動器設(shè)置為 20 細分，則分辨率是0.001mm。

（2）電動旋轉(zhuǎn)臺的角分辨率可以用以下公式計算：

例如：電機的步距角是 1.8o，傳動比是 180：1，驅(qū)動器設(shè)置為 20 細分，則角分辨率是0.0005o。

2. 靈敏度 Sensitivity

能產(chǎn)生一個輸出運動的最小輸入，通常用來表征手動位移臺，也可以定義為輸入驅(qū)動和輸出運動的比值，這個術(shù)語經(jīng)常和分辨率混淆。

3. 精度 Accuracy 

對于一個給定的輸入，實際位置和理想位置之間的最大差距。運動系統(tǒng)的精度跟實際位置的測量方式有很大的關(guān)系，所以對于開環(huán)設(shè)備中精度并不是一個很有意義的參數(shù)。

4. 絕對精度 Absolute Accuracy 

絕對精度是指系統(tǒng)針對命令輸入或理想輸入的輸出，更直觀的說應(yīng)該叫不確定度。當(dāng)要求一個運動系統(tǒng)精確運動 10mm，而實際上只運動了 9.99mm，則不確定度是 0.01mm。位移臺的軸線和測量尺的軸的角度誤差會導(dǎo)致一個與角度呈余玄關(guān)系的單調(diào)遞增誤差，這就是常說的余玄誤差。

5. 精確度 Precision 

精度是指對相同輸入，覆蓋 95%運動偏移的變化輸出位置的變動范圍。精確度也叫重復(fù)定位精度。精度和精確度是不同的概念。

6. 重復(fù)定位精度 Repeatability 

重復(fù)定位精度是指移動系統(tǒng)多次可到達一個既定點的能力。通常所說的重復(fù)定位精度指的是單向重復(fù)定位精度，單向重復(fù)定位精度是指運動系統(tǒng)僅在一個方向上做重復(fù)增量運動。這個參數(shù)避開了系統(tǒng)的空回和滯后。

因此一個更重要的定義是雙向重復(fù)定位精度，即無論運動方向多次嘗試達到一個嚴(yán)格意義點的能力。

7. 空回 Backlash

空回是指不至引起反向可測量輸出的最大輸入量。軸向預(yù)緊不夠或傳動鏈元件的嚙合不好會導(dǎo)致空回，例如嚙合齒輪上的齒不好?？栈厥窍鄬Ψ€(wěn)定的，并且可以用好的控制器補償。

8. 誤差 Error 

誤差是指實測的品質(zhì)參數(shù)和理想的/需要的結(jié)果之間的差值。誤差主要有兩個方面：軸向誤差，如精度，與沿著運動方向的參數(shù)有關(guān)；非軸向誤差，如傾斜，與約束的自由度方向相關(guān)。  

9. 偏心和擺動 Eccentricity and Wobble 

偏心有時也稱同心度，旋臺的偏心是指當(dāng)旋臺旋轉(zhuǎn)時它的旋轉(zhuǎn)中心與平均位置的偏差。

如果一個旋臺是絕對同心的，那么在旋轉(zhuǎn)時就沒有偏心。對于旋臺，擺動是旋轉(zhuǎn)軸的角度偏差。

10. 跳動 Runout  

跳動是指非軸向線性誤差。這是位移臺的理想直線運動和實測直線運動之間的偏差。跳動有兩個正交分量：表征水平方向偏差的直線度和表征垂直方向偏差的平面度。   

11. 傾斜和晃動 Tilt and Wobble 

傾斜和晃動是指非軸向角度誤差。它是指理想的運動直線和實測的運動臺之間的偏移量。傾斜和晃動有三個相互垂直的分量，一般指的是轉(zhuǎn)動、俯仰和偏擺。這三個分量決定了由幾何形狀引起的所有運動系統(tǒng)誤差。   

12. 負(fù)載能力 Load Capacity 

對于位移臺來說，負(fù)載能力是指所允許的作用于位移臺臺面中心且與運動方向和工作臺面垂直的合力的大小。對于旋轉(zhuǎn)臺來說，合力的方向是沿著旋轉(zhuǎn)軸的。若負(fù)載不在工作臺的中心，則負(fù)載須適當(dāng)減少。 

13. 法向負(fù)載能力 Normal Load Capacity 

法向負(fù)載能力是指可直接作用于移動臺面上中心的最大負(fù)載，負(fù)載量主要受限于工作臺軸承所能承受的負(fù)載能力。

14. 橫向負(fù)載能力 Transverse Load Capacity

橫向負(fù)載能力也叫側(cè)面負(fù)載能力，是作用于垂直運動方向軸線且沿著工作臺面的最大的負(fù)載力，通常受限于軸承的負(fù)載力，并且由于幾乎沒有軸承承載，因而比法向負(fù)載力能力要小。

15. 軸向負(fù)載能力 Axial Load Capacity

傳動方向上的最大負(fù)載，對于豎直安裝的線性位移臺，標(biāo)稱的垂直載重能力經(jīng)常由軸向負(fù)載能力所限制。更多時候軸向負(fù)載能力取決于電機和螺桿的負(fù)載能力。

16. 動態(tài)負(fù)載 Dynamic Load

動態(tài)負(fù)載是指靜態(tài)負(fù)載和運動阻力的總和。需要考慮的負(fù)載的一些動態(tài)特性包括摩擦力和慣性。由于動態(tài)載荷限制了系統(tǒng)所能達到的最大加速度，因此在評價整個運動系統(tǒng)性能時，必須要考慮此因素。

17. 速度 Velocity (Speed) 

速度是指單位時間內(nèi)位移的改變量。最大速度是指位移臺正常負(fù)載情況下的最大速度。

負(fù)載越輕速度越快。最小穩(wěn)定速度主要依賴于運動系統(tǒng)驅(qū)動設(shè)備的速度穩(wěn)定性。

18. 速度穩(wěn)定性 Speed Stability

速度穩(wěn)定性是指保持恒定速度的能力，也用速度調(diào)節(jié)能力表征。這個參數(shù)取決于平臺的機械設(shè)計、反饋機制、所用的控制算法和速度的大小。

19. 加速度 Acceleration 

加速度是指單位時間內(nèi)速度的變化量。

20. 慣量 Inertia 

慣量是負(fù)載抵抗速度改變的一個量度。慣量性越大，負(fù)載加速或減速時需要的轉(zhuǎn)矩也越大。慣量是一個負(fù)載大小和形狀的函數(shù)。如果能對轉(zhuǎn)矩做出限制，那么允許加速和減速的次數(shù)就會增加。